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上萬片晶圓被汙染 臺積電迴應:別慌

最近兩年臺積電可謂是遇上了多事之秋,先是在去年因電腦遭遇病毒導致旗下多個晶圓廠停工,最終造成26億新臺幣損失,再就是在2019年初又曝出了上萬片晶圓遭受汙染事件,雖然沒有明確的損失統計,但有報道稱臺積電9萬片晶圓被汙染,遭受損失可能達到200億新臺幣。

不過對於這些報道,臺積電方面近期發表公告稱出問題的主要是一批光阻原料,臺積電已經跟客戶做了溝通,這件事暫時不會影響第一季度業績,第一產能追不回來也會在第二季度追回來。

半導體晶圓生產有著嚴格的環境要求,晶圓廠內部需要在無塵環境下執行,晶圓一旦遭受汙染就會造成不可逆的損傷,因此會產生大量的損失。

臺積電這次的晶圓汙染就出在光阻材料上,臺積電在1月19日發現南科Fab 14B晶圓廠的12nm、16nm工藝良率出了問題,排查後發現問題出在光阻材料上。臺積電並沒有公佈這家原料供應商的名字,不過他們的光阻原料主要來自日本信越、日本JSR與美國陶氏化學,目前還不確定是這三家中的哪一家或者是還有別家供應商。

至於這次晶圓汙染導致的影響,臺積電方面表示出事之後已經立即停用這批原料,並通知受到影響的客戶,過去10天中已經跟客戶密切溝通,具體到了補貨及交付日期等細節問題。臺積電根據目前的12/16nm產能利用率表示Q1季度就能追回大部分損失產能,即便Q1無法補回,Q2季度也會追回來,重申此單一事件還不會影響Q1季度的財報預測。

Reference:科技日報

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